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    三維表面輪廓儀

    描述:多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀( OPTELICS HYBRID+,三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡 ),高度方向測量精度達0.05nm;系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù);以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),集6項測試功能于一體,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測量等功能。

    更新時間:2024-08-07
    產(chǎn)品型號:
    廠商性質(zhì):代理商
    詳情介紹
    品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
    應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

    多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀 OPTELICS HYBRID+,三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡/三維表面輪廓儀 ),高度方向測量精度達0.05nm系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù);以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),集6項測試功能于一體,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測量等功能;通常多臺設(shè)備才能完成的測量,僅需一臺設(shè)備即可實現(xiàn),解決了需要使用多種工具的麻煩,滿足在各種測量場景中的測試需求。


    • 提供6個測試功能模塊,應(yīng)對多樣測量需求

    • 滿足行業(yè)測試規(guī)格要求,High精度

    • 提供多種測量和分析

    • 自動化測量技術(shù),高效測量


    適用于滿足多樣場景測試需求

    3D 光學(xué)表面輪廓儀( 三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡 一個平臺提供6種測試功能:

           

    三維表面輪廓儀


         

          

    1. 白光共聚焦

    寬視野+High精度測量

    高清彩色觀察

    三維表面輪廓儀



    2. 激光共聚焦

    高倍·High 分辨率觀察

    搭載波長405nm的紫色半導(dǎo)體激光,無需前處理,以可媲美電子顯微鏡的High分辨率,鮮明捕捉納米級細微構(gòu)造。

    三維表面輪廓儀



    3. 微分干涉測量

    納米級凹凸觀察

    共聚焦與微分干涉(DIC)相結(jié)合,實現(xiàn)細微凹凸形狀的可視化。由于焦點深度極低,對于透明樣品可以排除其背面的影響僅對表面進行觀察。

    三維表面輪廓儀



    4. 垂直白光干涉測量

    數(shù)毫米寬廣視野內(nèi)的納米級形狀測量

    白光通過雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉波形,通過垂直方向掃描找到干涉光強度高點,得到樣品的高度分布數(shù)據(jù)。原理上,高度分辨率不受物鏡放大倍數(shù)影響,因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測量。

    三維表面輪廓儀



    5. 反射分光膜厚測量

    納米級透明膜厚測量

    利用波長切換功能對6個波長的絕對反射率進行測量,光學(xué)建模計算得到膜厚。數(shù)nm~1μm的單層/多層膜厚可測量。測量區(qū)域在共聚焦觀察圖像上定義,亞微米區(qū)域~全視野的數(shù)mm區(qū)域的平均膜厚均可測量。而且因各個像素(pixel)的膜厚能夠計測,所以可以測量膜厚分布。

    三維表面輪廓儀



    6. 相差干涉測量

    埃米級形狀測量

    白光通過雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉條紋,與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關(guān)。在垂直方向細微移動得到4組干涉圖像,通過解析實現(xiàn)高分辨率的高度分布測量。

    三維表面輪廓儀


    多種波長切換

    三維表面輪廓儀


    測量速度快

    3D 形貌測量共聚焦顯微鏡(HYBRID)實現(xiàn)了業(yè)界快速幀率(15Hz~120Hz)掃描,實現(xiàn)圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和快速測量。


    High精度測量

    三維形貌測量共聚焦顯微鏡(HYBRID)高度方向測量精度達0.05nm。


    提供各種測量,分析和支持功能,具有可用性

    LM eye是HYBRID的測量和分析軟件,提供多種功能,幫助您順利操作


    測量和分析功能

    可以測量和分析參數(shù),包括輪廓,粗糙度和薄膜厚度


    三維表面輪廓儀


    測量支持功能

    HYBRID提供各種測量、分析


    三維表面輪廓儀




    自動化操作,效率更高

    LIBRA

    LIBRA 是一個軟件程序,它使用定義的平臺執(zhí)行自動測量。


    三維表面輪廓儀


    LM 檢測 

    LM Inspect 是一個軟件程序,可以自動檢測基材上的小顆粒和缺陷。并且支持使用缺陷審查和深度學(xué)習(xí)進行高精度缺陷分類。


    三維表面輪廓儀


    其他型號


    三維表面輪廓儀


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